Des chercheurs développent une technologie d'impression par transfert sélectif pour les microLED
Concept d'impression par transfert sélectif assistée par micro-vide (μVAST). Crédit: Communications naturelles (2023). DOI : 10.1038/s41467-023-43342-8
Une équipe de recherche KAIST dirigée par le professeur Keon Jae Lee a démontré l'impression par transfert d'un grand nombre de puces semi-conductrices inorganiques de micro-taille via la modulation sélective de la force du micro-vide. La recherche, intitulée « Impression universelle par transfert sélectif via la force du micro-vide », est publiée dans la revue Communications naturelles.
Les MicroLED sont une source de lumière pour les écrans de nouvelle génération qui utilisent des puces LED inorganiques d'une taille inférieure à 100 μm. Les MicroLED ont attiré beaucoup d'attention en raison de leurs propriétés électriques/optiques supérieures, de leur fiabilité et de leur stabilité par rapport aux écrans conventionnels tels que LCD, OLED et QD.
Pour commercialiser les microLED, la technologie d'impression par transfert est essentielle pour réorganiser les matrices microLED d'un substrat de croissance sur le substrat final avec une disposition souhaitée et un alignement précis. Cependant, les méthodes de transfert précédentes présentaient encore de nombreux défis, tels que la nécessité d'adhésifs supplémentaires, le désalignement, le faible rendement de transfert et l'endommagement des copeaux.
L'équipe de recherche du professeur Lee a développé une technologie d'impression par transfert sélectif assistée par micro-vide (µVAST) pour transférer un grand nombre de puces microLED en ajustant la force d'aspiration du micro-vide.
La technologie clé repose sur une méthode de gravure induite par laser (LIE) pour former des réseaux de micro-trous de 20 µm avec un rapport d'aspect élevé sur des substrats en verre à une vitesse de fabrication allant jusqu'à 7 000 trous par seconde. Le verre percé par LIE est connecté aux canaux de vide, contrôlant la force du micro-vide au niveau des réseaux de trous souhaités pour capter et libérer sélectivement les microLED.
L'impression par transfert assistée par micro-vide permet d'obtenir une commutabilité d'adhésion plus élevée par rapport aux méthodes de transfert précédentes, permettant l'assemblage de semi-conducteurs de taille micro avec divers matériaux, tailles, formes et épaisseurs hétérogènes sur des substrats arbitraires avec des rendements de transfert élevés.
Le professeur Lee a déclaré : « Le transfert assisté par micro-vide constitue un outil intéressant pour l'intégration sélective à grande échelle de semi-conducteurs inorganiques hautes performances à l'échelle micrométrique. Actuellement, nous étudions l'impression par transfert de puces microLED commerciales avec un système d'éjection pour la commercialisation ultérieure. écrans de nouvelle génération (téléviseurs grand écran, appareils flexibles/extensibles) et patchs de photothérapie portables.
Plus d'information:
Sang Hyun Park et al, Impression par transfert sélectif universel via la force du micro-vide, Communications naturelles (2023). DOI : 10.1038/s41467-023-43342-8
Fourni par l'Institut supérieur coréen des sciences et technologies (KAIST)
Citation: Des chercheurs développent une technologie d'impression par transfert sélectif pour les microLED (19 décembre 2023) récupéré le 19 décembre 2023 sur
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